3-Achs Mikromanipulator — Für Bewegungen in drei Freiheitsgraden

Es gibt eine Vielzahl von Justageaufgaben in der Mikrotechnik, die Bewegungen in drei Freiheitsgraden benötigen. Für diese Art von Anwendungen hat die Micromotion GmbH den 3-Achs Mikromanipulator entwickelt. Diese kompakte Einheit mit einem Durchmesser von nur 36,2 mm und einer Axiallänge von weniger als 50 mm ist mit zwei linearen und einer rotatorischen Achse ausgestattet. Die Linearachsen werden von Exzenterantrieben angetrieben, die einen kleinen Verstelltisch in x- und y-Richtung bewegen. Auf dem Verstelltisch ist die Theta-Achse aufgebaut, mit der das Werkzeug direkt angetrieben wird .

 

Eine Konstruktion mit folgenden Vorteilen:

• Genauigkeit im Sub-Mikrometerbereich

• Einfache Steuerung, da für alle Achsen Schrittmotoren

• Geringe Masse (< 50 g)

• Hochdynamische Leistungsmerkmale

 

 

Kürzere Montage-Zykluszeiten

Entscheidender Vorteil im Vergleich zur Piezoantriebstechnik ist der große Verstellweg der Linearachsen, die einfache Regelbarkeit und die hohe Stabilität unter Produktionsbedingungen.Typische Einsatzgebiete sind die Feinpositionierung, wobei das System rückseitig an eine Hochgeschwindigkeitsachse montiert wird; das geringe Gewicht ist dabei von besonderer Bedeutung.

 

 

Höhere Dynamik

Der Trend zu immer kürzeren Zykluszeiten bei Montageaufgaben benötigt eine höhere Dynamik in den primären Positionierachsen, die typischerweise aus linearen Direktantrieben aufgebaut sind. Gelingt es, die Masse des Mikromanipulators zu minimieren, verringert sich der Temperaturanstieg in den Linearmotoren bei gleichem Arbeitszyklus. Probleme wegen thermischer Instabilität werden vermieden, was einen starken Einfluss auf die Positioniergenauigkeit der gesamten Maschine hat.