Der weltkleinste Mikro Linearpositionierer

Um auch in den Bereichen optische Systeme und Halbleiterfertigung neuartige Lösungen für hochpräzise lineare Verstellmechanismen zu platzieren, wurde bei der Micromotion GmbH der weltkleinste Mikro Linearpositionierer realisiert. Basierend auf der Mikro Harmonic Drive^® Technologie werden die bekannten Vorteile dieses Mikrogetriebes wie Zuverlässigkeit, Positioniergenauigkeit und Spielfreiheit in ein extrem kompaktes und leichtes lineares Positioniersystem überführt.

 

 

Kleiner, leichter, besser

Das spielfreie Mikrolinearverstellersystem ist in einem Querschnitt von nur 10 auf 10 mm untergebracht und besitzt eine Masse von nur 22 Gramm. Die Länge des Mikro Linearpositionierers MLP-10 ist abhängig vom Verstellweg und dem gewünschten Motortyp. Das kürzeste System ist 59 mm lang, wird von einem Schrittmotor angetrieben und bietet einen Verstellweg von 6 mm.

 

 

Einfach an alles gedacht

Die Mikro Linearpositionierer können sowohl mit Schritt- als auch Servomotoren aufgebaut und dadurch exakt auf die gewünschte Steuerungsumgebung und Prozessführung abgestimmt werden. Die beiden in das Mikrosystem integrierten Endlagenschalter gewährleisten eine hohe Betriebssicherheit ohne zusätzliches Linear-Messsystem. Durch die Kombination des spielfreien Mikro Harmonic Drive^® Getriebes mit dem spielfrei vorgespannten Muttersystem kann die Winkelstellung des Motors, z.B. bei Schrittmotoren über die Anzahl der Schritte oder bei Encodersystemen durch die Anzahl der Impulse direkt zur Positionsermittlung verwendet werden.

 

 

Getriebeuntersetzungen des Mikro Linearpositionierers

Über die unterschiedlichen Untersetzungen kann einerseits die Systemauflösung und andererseits die Verstellgeschwindigkeit beeinflusst werden. So kann beim Einsatz von Schrittmotoren im Halbschrittbetrieb eine theoretische Auflösung von 0,02 µm erreicht bzw. Verstellgeschwindigkeiten von bis zu 2,5 mm/s realisiert werden. Aufgrund des vorgespannten Spindel-Mutter- systems beträgt die einseitige Wiederholgenauigkeit +/- 1 µm und die zweiseitige Wiederholgenauigkeit +/- 5 µm. Die Verstellkraft bzw. die axiale Belastbarkeit kann bis zu 12 N betragen.