Sonderausführungen für den Einsatz im Vakuum

 

Eine ganz besondere Herausforderung für die Antriebstechnik ist der Einsatz unter Vakuumbedingungen. Die Materialien müssen korrosionsbeständig sein und dürfen nicht ausgasen. Das System darf keine Gaseinschlüsse haben. Die Wärmeausdehnung unterschiedlichster Materialien muss bei der Auslegung berücksichtigt werden. Ein Fall für die vakuumkompatible Variante der Harmonic Drive^® Getriebebox. Je nach Vakuumqualität und Temperaturbereich kommt spezielles ausgasungsarmes Vakuumfett oder Trockenschmierstoff zum Einsatz. Der spezielle Klebstoff muss weniger mit seiner Festigkeit, viel mehr durch sein Ausgasungsverhalten punkten. Diese Sonderausführungen wurden im Vakuumbetrieb bis zu einem Druck von 10^-12 mbar und im Temperaturbereich von — 160 bis + 150° C erfolgreich getestet. Hauptanwendungsgebiete sind Halbleiterfertigung, Satellitentechnik, Photonik, Elektronenmikroskopie und Medizintechnik .

 

 

		Materialien		1.4305 Edelstahlgehäuse 1.4305 Edelstahlwelle
		Motor		PRECISTEP SA Phytron Elektronik GmbH
		Schmierung		Trockenschmierung (Dicronite, MoS2,) Vakuumfett (Fomblin)
		Abtriebslagerung		X65Cr13 hochlegierter Stahl Trockenschmierung Beschichtete Laufbahnen Vorgespannte Kugellager
		Zahnräder		Nickel-Eisen-Legierung Rein-metallische Komponenten Verschleißbeständigkeit Korrosionsbeständigkeit Beschichtete Zahnräder Spielfreiheit UHV-taugliche Verbindungstechnik